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| 用OMA-Ⅲ对Si单晶的激光喇曼谱的研究 | |
| 作者姓名： | 刘纶 王玉芳 陈洪云 林列 张伟 |
| 作者单位： | 天津师范大学实验中心，天津师范大学实验中心，天津师范大学实验中心，天津师范大学实验中心，天津师范大学实验中心 |
| 摘 要： | 用OMA-Ⅲ型光学多道分析仪对Si的激光拉曼谱进行了检测,通过综合提高信噪比的实验手段,得到了满意的结果。并对用OMA-Ⅲ进行离子注入过程中二次荧光谱的测定的可行性进行了讨论。 |
| 关 键 词： | OMA-Ⅲ型光学多道分析仪 改善信噪比 激光拉曼谱 |
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