| 热处理对溶胶—凝胶TiO2薄膜的特性影响 |
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| 引用本文： | S．M．Attia 吴广明 等. 热处理对溶胶—凝胶TiO2薄膜的特性影响[J]. 同济大学学报(自然科学版), 2001, 29(11): 1327-1330 |
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| 作者姓名： | S．M．Attia 吴广明 等 |
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| 作者单位： | 同济大学波耳固体物理研究所，上海200092 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(69978017,59802007);上海市教委重点学科资助项目(JW99-TJ-03) |
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| 摘 要： | 研究了热处理对溶胶－凝胶法制备的TiO2薄膜材料的晶体结构、致密化以及光学特性的影响，结果表明TiO2溶胶颗粒的最低结晶化温度为400℃，晶体尺寸随着热处理温度的升高而增大；TiO2薄膜的厚度随着热处理温度的升高从120nm减小到47nm，相应的折射率则从1．85增加到2．3；同时，TiO2薄膜的孔洞率随着热处理温度的升高0．23降低到0．122，密度则从2．83g.cm^-3增加到3．73g.cm^-3。
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| 关 键 词： | 溶胶－凝胶法 TiO2薄膜 薄膜密度 热处理 二氧化钛薄膜 晶体结构 光学特性 |
| 文章编号： | 0253-374X(2001)11-1327-04 |
| 修稿时间： | 2001-04-23 |
Effect of Heat Treatment on Properties of TiO2 Films Prepared withSol-gel Method |
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