| 退火对Ti离子注入LiNbO3光波导的影响 |
| |
| 引用本文： | 刘大力,李公羽,何晓东,鲁平.退火对Ti离子注入LiNbO3光波导的影响[J].吉林大学学报(信息科学版),2000,18(2):5-7. |
| |
| 作者姓名： | 刘大力 李公羽 何晓东 鲁平 |
| |
| 作者单位： | 1. 长春邮电学院通信工程系，吉林长春 130012
2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春 130021 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;69508005; |
| |
| 摘 要： | 以高质量的LiNbO3晶体为衬底，采用离子注入技术制备出低损耗的LiNbO3光波导。测试了其背散射谱，并对相应的结果做了分析，为解决光波导的横向扩散问题提供了一条可行途径。
|
| 关 键 词： | 离子注入 介质光波导 退火 Ion implantation Dielectric optical waveguides Annealing |
| 文章编号： | 1000-1794(2000)02-0005-03 |
| 修稿时间： | 1999年12月10日 |
Effects of annealing on Ti-implantation LiNbO3 optical waveguide |
| |
| LIU Da-li,LI Gong-yu,HE Xiao-dong,LU Ping.Effects of annealing on Ti-implantation LiNbO3 optical waveguide[J].Journal of Jilin University:Information Sci Ed,2000,18(2):5-7. |
| |
| Authors: | LIU Da-li LI Gong-yu HE Xiao-dong LU Ping |
| |
| Abstract: | Low loss LiNbO3 optical waveguide fabricated by ion implantation technology on high quality LiNbO3 crystal is reported, and its scattering spectrum is measured and analyzed. A feasible way is provided for solving transverse diffusion of optical waveguide. |
| |
| Keywords: | Ion implantation Dielectric optical waveguides Annealing |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
