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| 射频等离子体放电动态过程的流体动力学模拟 | |
| 引用本文： | 尹世明.射频等离子体放电动态过程的流体动力学模拟[J].华中理工大学学报,1998,26(1):34-36. |
| 作者姓名： | 尹世明 |
| 作者单位： | 华中理工大学模具技术国家重点实验室 |
| 摘 要： | 用流体动力学方法研究了射频放电的动态演变过程。 |
| 关 键 词： | 射频 流体动力学 计算机模拟 等离子体放电 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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