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SnO_2薄膜的化学气相淀积 Ⅰ.SnO_2薄膜的制备过程动力学
作者姓名:姚光辉  韩杰  袁渭康
作者单位:华东化工学院联合化学反应工程研究所技术化学物理室(姚光辉,韩杰),华东化工学院联合化学反应工程研究所技术化学物理室(袁渭康)
基金项目:国家自然科学基金,编号 2870342
摘    要:利用化学气相淀积方法,在载玻片上淀积二氧化锡薄膜,研究了过程的动力学特征,考察了不同操作参数对淀积速率的影响。建立了淀积速率与反应气体分压的关系式,并初步提出了淀积过程的反应原理。

关 键 词:化学气相淀积  二氧化锡  薄膜  动力学
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