| 氧化锌及银掺杂的氧化锌薄膜的紫外发光研究 |
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| 引用本文： | 刘凯鹏,杨碚芳,严鸿维,傅正平,左健.氧化锌及银掺杂的氧化锌薄膜的紫外发光研究[J].中国科学技术大学学报,2009,39(4). |
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| 作者姓名： | 刘凯鹏 杨碚芳 严鸿维 傅正平 左健 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学技术大学材料科学与工程系,安徽合肥,230026
2. 中国科学技术大学结构分析实验室,安徽合肥,230026 |
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| 摘 要： | 采用超声喷雾热解工艺,在Si(100)衬底上制备了ZnO薄膜,研究了衬底温度、喷雾速率、银掺杂对ZnO薄膜发光性质的影响.结果表明,选择合适的沉积温度和喷雾速率能制备出具有良好结晶质量、强紫外发射、高紫外/可见发光强度比的ZnO薄膜.未掺杂样品中,在沉积温度为500 ℃、喷雾速率为0 15 mL/min条件制备的ZnO薄膜的近带边紫外发光性能最好,其紫外/可见发光强度比能够达到470.低浓度的银掺杂可以进一步提高ZnO的紫外发光性能,掺杂3%浓度的Ag可以使ZnO的紫外/可见发光强度比达到700.但过高浓度的掺杂反而会降低紫外发光强度.
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| 关 键 词： | 氧化锌薄膜 超声喷雾热解法 光致发光 银掺杂 |
Ultraviolet emission property of undoped and Ag doped ZnO films |
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| LIU Kai-peng,YANG Bei-fang,YAN Hong-wei,FU Zheng-ping,ZUO Jian.Ultraviolet emission property of undoped and Ag doped ZnO films[J].Journal of University of Science and Technology of China,2009,39(4). |
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| Authors: | LIU Kai-peng YANG Bei-fang YAN Hong-wei FU Zheng-ping ZUO Jian |
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