| 氢对BN／C相选择腐蚀性的研究 |
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| 引用本文： | 楚天舒. 氢对BN／C相选择腐蚀性的研究[J]. 青岛大学学报(自然科学版), 2001, 14(3): 62-65 |
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| 作者姓名： | 楚天舒 |
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| 作者单位： | 青岛大学医学院物理教研室,青岛,266021 |
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| 摘 要： | 本文通过前线轨道理论和ab initio HF计算方法，对不同各类的氢与不同BN／C相之间的反应性进行了比较。结果表明原子氢与sp62-C相的反应高过其与sp^3-C相的反应性，从而说明在CVD技术中原子氢有对C相的选择腐蚀性；在氢与BN相的反应中，原子氢没有类似的选择腐蚀性；相对于中性氢而言离子氢具有较高的反应性。
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| 关 键 词： | 选择腐蚀性 HF计算方法 前线轨道理论 氢 反应性 BN／C相 薄膜生长 |
| 文章编号： | 1006-1037(2001)03-062-065 |
| 修稿时间： | 2001-04-09 |
ETCHING EFFECT OF HYDROGEN SPECIES ON BORON NITRIDE/CARBON PHASES |
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| CHU Tian-shu. ETCHING EFFECT OF HYDROGEN SPECIES ON BORON NITRIDE/CARBON PHASES[J]. Journal of Qingdao University(Natural Science Edition), 2001, 14(3): 62-65 |
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| Authors: | CHU Tian-shu |
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| Abstract: | A comparison study of etching effect of hydrogen species on boron nitride/carbon phases has been carried out using ab initio Hartree-Fock method combined with frontier orbital theory. The results show that atomic hydrogen is much more reactive with sp2-C phase than with sp3-C phase while it illustrates similar reactivity with both sp2-BN phase and sp3-BN phase. In addition, hydrogen anions are more active than neutral ones. |
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| Keywords: | Etching effect Hartree-Fock method Frontier orbital Hydrogen Reactivity |
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