| 微进给工作台伺服控制技术 |
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| 引用本文： | 蒋培军,齐国生,徐端颐,李庆祥,范晓东,钱坤.微进给工作台伺服控制技术[J].清华大学学报(自然科学版),2004,44(5):657-660. |
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| 作者姓名： | 蒋培军 齐国生 徐端颐 李庆祥 范晓东 钱坤 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家"九七三"重点基础研究项目(G19990330) |
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| 摘 要： | 为实现母盘刻录机中光学头的精密进给,研制了精密微进给工作台及其伺服控制系统.利用线光栅作为工作台位移检测工具,采用数字比例积分微分(PID)伺服滤波器实现位移控制.经实验方法测定,系统摩擦可以近似为Coulomb摩擦加Stribeck效应的模型.采用了基于该模型的摩擦补偿方法以消除电机死区影响.为实现精确轨迹控制,控制系统采用了零相位误差跟踪控制(ZPETC)技术.针对高增益PID、摩擦补偿和ZPETC加摩擦补偿这3种控制方法,分别进行了轨迹跟踪实验,其轨迹误差分别为±0.8、±0.6 和±0.3 μm.
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| 关 键 词： | 机电一体化 精密工作台 前馈控制 摩擦补偿 |
| 文章编号： | 1000-0054(2004)05-0657-04 |
| 修稿时间： | 2003年9月11日 |
Control technology for high precision feed table |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | mechatronics precision table feedforward control friction compensation |
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