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| TiO2/Cu超晶格结构表征 | |
| 作者单位： | 徐跃（吉林大学测试中心, 长春 130023）;李永华（吉林大学材料科学系, 长春 130023）;宫杰（四平师范学院物理系, 四平 136000） |
| 摘 要： | 用磁控溅射方法制备TiO2/Cu超晶格.通过X射线衍射和电镜手段对其进行测试,利用X射线傅氏线形分析法对超晶格的微观参数进行表征,通过TEM对超晶格的截面形貌进行观察,发现其具有柱状生长结构. |
| 关 键 词： | 薄膜 超晶格 线形分析 |
| 文章编号： | 0529-0279(2001)03-0073-03 |
| 修稿时间： | 2001-01-11 |
Preparation and Structure Characterization of Cu/TiO2 Superlattice |
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