(Pb,La)TiO_3铁电薄膜的铁电畴的研究 |
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引用本文: | 吴家刚,朱基亮,张青磊,谭浚哲,蒲朝辉,黄惠东,朱建国,肖定全.(Pb,La)TiO_3铁电薄膜的铁电畴的研究[J].四川大学学报(自然科学版),2005(Z1). |
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作者姓名: | 吴家刚 朱基亮 张青磊 谭浚哲 蒲朝辉 黄惠东 朱建国 肖定全 |
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作者单位: | 四川大学材料科学系 电子科技大学微电子与固体电子学院 四川大学材料科学系 成都 |
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摘 要: | 压电力显微镜(PFM)和非线性介电扫描显微镜(SNDM)是近年来发展起来的一项专门测量压电系数的技术.本实验中,分别通过LPFM,VPFM,SNDM观察了(Pb,La)Ti O3薄膜的面内畴、面间畴和非线性介电常数的分布.分析结果表明,薄膜内部存在面内极化电畴、向上、向下的电畴以及介电常数分布具有非线性特性.PFM可以描绘薄膜电畴的三维立体图形,SNDM和PFM都可以较好地表征铁电薄膜的表面极化状态.
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关 键 词: | PLT薄膜 磁控溅射 SNDM PFM |
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