| 静电梳齿驱动器静电-结构耦合的仿真分析 |
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| 引用本文： | 李燕斌,邵可然,雷刚,张爱军. 静电梳齿驱动器静电-结构耦合的仿真分析[J]. 华中科技大学学报(自然科学版), 2009, 37(2): 96-99 |
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| 作者姓名： | 李燕斌 邵可然 雷刚 张爱军 |
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| 作者单位： | 华中科技大学电气与电子工程学院,湖北,武汉,430074;中原工学院电子信息学院,河南,郑州,450007;华中科技大学电气与电子工程学院,湖北,武汉,430074;中国电信河南省分公司,河南,郑州,450016 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，高等学校博士学科点专项科研基金 |
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| 摘 要： | 采用降阶建模为静电梳齿驱动执行器开发了一个二维有限元模型,将梳齿驱动器简化为一组等价的集总参数单元,各单元均体现了对应器件的静动态特性和输入输出特性,降阶得到的模型降低了计算的复杂程度,提高了计算的速度.对采用降阶模型法所建立的模型仿真,得出梳齿驱动执行器的驱动位移、静电力与结构参数和所施加电压关系的仿真结果.该方法能以较快的速度求解静电-结构耦合问题,所得结果与有限元解相比较,最大位移误差小于5%.
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| 关 键 词： | 静电梳齿驱动器 耦合场 降阶建模 能量转换器 仿真 |
Analysis and simulation of comb-drive electrostatic-structure coupled field |
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| Li Yanbin,Shao Keran,Lei Gang,Zhang Aijun. Analysis and simulation of comb-drive electrostatic-structure coupled field[J]. JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE, 2009, 37(2): 96-99 |
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| Authors: | Li Yanbin Shao Keran Lei Gang Zhang Aijun |
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