| 电子显微镜真空系统常见故障及对策 |
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| 引用本文： | 朱宇.电子显微镜真空系统常见故障及对策[J].内蒙古大学学报(自然科学版),2001,32(2):234-235. |
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| 作者姓名： | 朱宇 |
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| 作者单位： | 内蒙古大学实验测试中心，内蒙古呼和浩特010021 |
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| 摘 要： | 真空度的高低，直接影响成像质量，介绍了常见故障及排除方法。
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| 关 键 词： | 真空系统 故障 电子显微镜 真空度 排除方法 真空检漏 镜筒 |
| 文章编号： | 1000-1638(2001)02-0234-02 |
| 修稿时间： | 2000年11月9日 |
Common Technical Hitches in the Vacuum System of Electron Microscope and the Way of Dealing with |
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| ZHU Yu.Common Technical Hitches in the Vacuum System of Electron Microscope and the Way of Dealing with[J].Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Neimongol,2001,32(2):234-235. |
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| Authors: | ZHU Yu |
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| Abstract: | The degree of vacuum in electron microscope directly affects the quality of the image formation.The common technical hitches and the method of removal are introduced. |
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| Keywords: | electron microscope vacuum system hitch |
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