射频溅射超导铌膜的新方法

本文描述了射频溅射超导铌膜的一种新的工艺方法。这种工艺方法的特点是采用了红外预热基片衬底,多次充氩“冲洗”溅射室,静氩状态下溅射和红外退火等一系列工艺流程,并且获得了较满意的效果。