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| 我国微电子技术取得重大突破“1～1.5μm成套工艺开发及相应水平大规模集成电路的研制”通过技术鉴定 | |
| 引用本文： | 卞戟.我国微电子技术取得重大突破“1～1.5μm成套工艺开发及相应水平大规模集成电路的研制”通过技术鉴定[J].清华大学学报(自然科学版),1992(4). |
| 作者姓名： | 卞戟 |
| 摘 要： | 清华大学微电子学研究所承担的“七五”国家重点科技攻关项目“1～1.5 μm成套工艺开发及相应水平大规模集成电路的研制”取得丰硕成果。最近获得了国家计委、国家科委、财政部联合颁布的国家“七五”科技攻关的表彰。机电部于1991年9月29日在清华大学主持召开了这个项目的技术鉴定会。 以集成电路为核心的电子信息产业决定着国民经济和国防现代化的水平,具有很重要的战略地位。 1～1.5μm CMOS工艺是当前国际上集成电路生产的主流技术,而国内现只能达到 3～5μm水平,与国外差距两代以上。这是一项工作量和难度都很大的研究工程,微电子所… |
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