微程序座标旋转计算机——(用于集成电路自动键合)

本文介绍利用座标旋转计算机原理制成的“微程序数控键合机”。把座标旋转计算机用于集成电路生产中的自动键合上是首次。由于采用座标旋转计算方法、采用微程序设计、采用故障自动检查程序、采用顺序操作控制以及全部采用固体电路,使机器简单、准确、灵活、可靠。