超大规模集成电路互连线问题的研究分析

超大规模集成电路的互连线问题当今集成电路领域的一个研究热点,随着半导体器件和互连线尺寸的不断缩小,越来越多的关键设计指标——性能、抗扰度等——将主要取决于互连线,或受互连线的严重影响。为了加强对于互连线技术的了解和对互连线问题的进行研究,文章讨论了互连线模型中各元件的影响及对互连线的建模。