沉积电压对辅助加热PCVD—TiN涂层的影响

研究了不同的沉积电压对辅助加热式ＰＣＶＤ－ＴｉＮ涂层的影响。实验证明，提高沉积电压可以细化ＴｉＮ涂层的柱状晶结构，增加ＴｉＮ涂层的显微硬度和沉积速率。在试验范围内，涂层内残存的氯含量基本不受沉积电压的影响。