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| 基于ANSYS的静电微执行器吸合现象分析 | |
| 引用本文： | 郑丽云,龚友平,刘彦辉.基于ANSYS的静电微执行器吸合现象分析[J].中国新技术新产品精选,2014(16). |
| 作者姓名： | 郑丽云 龚友平 刘彦辉 |
| 作者单位： | 杭州电子科技大学机械工程学院; |
| 摘 要： | 本文基于静电场和弹性薄板理论,对MEMS静电结构的吸合现象进行了理论分析并给出公式化结果。然后借助于有限元分析软件ANSYS,对微开关中的静电驱动微悬臂梁进行分析,得到其吸合现象对应参数的标准数值,最后实现理论数值和标准数值的比较,以期对MEMS微执行器设计提供一定的理论支撑。 |
| 关 键 词： | MEMS 吸合 静电力 顺序耦合 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |