| DMY-1型膜厚测量仪的原理与设计 |
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| 引用本文： | 薛实福,李庆祥,王伯雄,徐毓娴,王鑫云,于水,李坚,李志. DMY-1型膜厚测量仪的原理与设计[J]. 清华大学学报(自然科学版), 1992, 0(2) |
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| 作者姓名： | 薛实福 李庆祥 王伯雄 徐毓娴 王鑫云 于水 李坚 李志 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系(薛实福，李庆祥，王伯雄，徐毓娴，王鑫云，于水)，机械电子工业部第12所(李坚)，机械电子工业部第12所(李志) |
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| 摘 要： | 介绍了ＤＭＹ－１型膜厚测量仪的原理与设计，给出了不同情况下膜层厚度测量公式，并对该仪器进行了实验，该仪器的测量精度：对于较薄膜为±２ｎｍ，对一般膜层为被测厚度的±２％～±５％。
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| 关 键 词： | 膜厚测量 分光光度法 全息四面衍射光栅 CCD |
Principle and design of the DMY-1 film thickness measuring instrument |
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| Xue Shifu,Li Qingxiang,Wang Boxiong,Xu Yuxian,Wang Xinyun,Yu Shui. Principle and design of the DMY-1 film thickness measuring instrument[J]. Journal of Tsinghua University(Science and Technology), 1992, 0(2) |
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| Authors: | Xue Shifu Li Qingxiang Wang Boxiong Xu Yuxian Wang Xinyun Yu Shui |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | film thickness measurement spectrophotometry holographic concave grating CCD device |
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