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| 激光晶轴定向仪及其应用 | |
| 作者姓名： | 温明生 陈宪 |
| 摘 要： | <正> 在集成电路的生产中,往往出现隐埋图形畸变的问题.据认为,这是由于硅片的切割方向不当引起的.为了解决这个问题,在切片前先定出硅单晶的方向,使之能按最佳的方向切片,是十分必要的.激光晶轴定向仪是一种结构简单、便于操作、精度可靠、不需暗室的晶轴定向仪器,是一种可直接用于集成电路生产的、应用日趋广泛的仪器.下面加以介绍. |
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