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| 高温超导薄膜的最新进展 | |
| 引用本文： | 崔广霁.高温超导薄膜的最新进展[J].系统工程与电子技术,1988(9). |
| 作者姓名： | 崔广霁 |
| 作者单位： | 北京大学物理系固体物理研究所 |
| 摘 要： | 本文介绍了高温超导薄膜的最新进展。从超导电子学器件制备工艺的角度强调了薄膜均匀性和平整度、薄膜对平面工艺过程的适应能力以及薄膜衬底的选择等问题的重要性。侧重介绍了制备超导薄膜的各种实验技术的基本实验条件、方法和结果。 |
| 关 键 词： | 超导材料 制备 半导体工艺 真空蒸发 溅射 分子束外延 激光蒸发 化学气相沉积 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |