质谱探漏仪的灵敏度及其核准

质谱探漏仪的灵敏度是仪器最重要的性能指标。本文研究和评述了目前已收集到的各种质谱探漏仪灵敏度的定义和校准方法，并根据我们在这方面进行的实际工作提出了一个较严格的质谱探漏仪灵敏度和浓度灵敏度的定义以及相应的校准方法。利用一支白金丝玻璃型标准漏孔和一台简单的配置系统即可在１０－６—１０－１３乇·升／秒的范围内严格按照定义方便地校准仪器灵敏度、浓度灵敏度，并可研究仪器的输出指示与漏量的线性关系、灵敏度与工作状态（如工作压强、扩散泵加热功率…等）的关系，最后介绍了这些概念和校准方法的一些实际应用举例。