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激光辐照NTD—Si形成P—N结的研究
引用本文:王永瑜,徐克服,董秘刚.激光辐照NTD—Si形成P—N结的研究[J].山西师范大学学报,1993(1).
作者姓名:王永瑜  徐克服  董秘刚
作者单位:西北大学物理系,山西师大物理系,西北大学物理系
摘    要:本文扼要阐述了用CO_2辖续激光辐照NTD—St生成P—N结的具体过程与条件并根据实际数据对其生成机理作了合理分析。

关 键 词:激光中了媗变掺杂  电子一空穴结  辐照  掺杂

The P-N Junction Formation of NTD Silicon by Laser and Investigation of There Properties
Wang Yongyue,Xu Kefu,Dong Migang.The P-N Junction Formation of NTD Silicon by Laser and Investigation of There Properties[J].Journal of Shanxi Teachers University,1993(1).
Authors:Wang Yongyue  Xu Kefu  Dong Migang
Institution:Wang Yongyue;Xu Kefu;Dong Migang
Abstract:In This paper,we present a new method to make The P--N Junetion in NTD silicon and inverstigation the electrical properties,such as,conductance tyne,sheet vesistance,Voctage--current characteristic. in order to illustrate above result we persent a model.
Keywords:
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