真空预载型多孔质空气静压轴承的静动态特性分析（英文）

为进一步提高轴承刚度，将真空预加载技术与多孔质空气静压轴承相结合，使轴承在没有额外预加载导轨的情况下获得双向刚度。探讨工作条件和结构参数对真空预载型多孔质空气静压轴承性能的影响，基于计算流体力学(computational fluid dynamics, CFD)方法对其静动态特性进行了数值分析。深入研究了供气压力、真空度、渗透率、真空抽气口直径、扰动幅度和扰动频率等因素对轴承性能的影响。结果表明，相比于一般多孔质空气静压轴承，真空预载型多孔质空气静压轴承的刚度提高了22.34%;工作条件和结构参数对其静态和动态特性有显著影响。该研究结果对高刚度空气静压轴承的性能研究和优化设计具有一定的指导意义。