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| 在不同衬底上用纳米引晶法选择性生长金刚石薄膜 | |
| 作者姓名： | 杨洁 李迅 |
| 作者单位： | [1]空军长春飞行学院 [2]吉林大学超硬材料国家重点实验室 |
| 摘 要： | 采用光刻工艺和纳米引晶技术,在抛光的单晶Ｓｉ衬底上形成带有超细金刚石纳米粉的引晶图案,并利用引晶处与抛光Ｓｉ处金刚石成核密度的巨大差异,在光滑的Ｓｉ３Ｎ４和Ｍｏ衬底上实现金刚石薄膜的高选择性生长。 |
| 关 键 词： | 纳米引晶 金刚石薄膜 选择性生长 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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