高质量扫描透射电子显微镜高角环形暗场像的实验关键点

高角环形暗场像(high-angle annular dark-field,HAADF)作为扫描透射电子显微镜(scanning transmission election microscope,STEM)最主要的成像方式之一,是近年来各科研领域高分辨研究的热点技术,在球差矫正器的应用下可实现单原子或原子柱的亚埃级位置和化学成分分辨。实验环节中关键点的认识是获得高质量高角环形暗场像的关键。该文以FEI Titan G2 60-300 Chemi-STEM球差矫正型扫描透射电子显微镜为例,从实验环境控制、样品防污染、电镜参数设置与操作等关键点方面,阐述了获取高质量高分辨高角环形暗场像的实验要点、技巧与相关原理。