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| 微波方法制备(100)晶面取向的金刚石薄膜 | |
| 引用本文： | 顾长志,金曾孙,吕宪义,邹广田,坂本幸弘,高谷松文.微波方法制备(100)晶面取向的金刚石薄膜[J].科学通报,1998(6). |
| 作者姓名： | 顾长志 金曾孙 吕宪义 邹广田 坂本幸弘 高谷松文 |
| 基金项目： | 国家教委博士点基金!(批准号 :951830 7)资助项目 |
| 摘 要： | 采用MWPCVD制备金刚石膜的方法 ,以甲烷和一氧化碳为碳源气体 ,在适当的衬底温度与反应气体配比条件下 ,通过使衬底匀速转动 ,合成出具有 (10 0 )晶面取向的均匀生长的金刚石薄膜 ,在优化的工艺条件下这种定向金刚石膜的生长与单晶硅衬底的类型没有明显的直接关系 . |
| 关 键 词： | 金刚石膜 定向生长 MWPCVD (100)取向 |