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α—Si：H／α—SiNx：H超晶格薄膜的光声谱

引用本文：	邱树业,王志超.α—Si：H／α—SiNx：H超晶格薄膜的光声谱[J].南京大学学报(自然科学版),1990,26(1):32-38.

作者姓名：	邱树业王志超

摘要：
关键词：	半导体超晶格薄膜光声谱
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