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| 氧氩比变化对于ZnO薄膜结构及其荧光发射的影响 | |
| 引用本文： | 李勇,马书懿,蔡丽霞,李锡森.氧氩比变化对于ZnO薄膜结构及其荧光发射的影响[J].甘肃科技,2009,25(20):56-57. |
| 作者姓名： | 李勇 马书懿 蔡丽霞 李锡森 |
| 作者单位： | 西北师范大学,物理电子工程学院,甘肃,兰州,730070 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，甘肃省自然科学基金资助项目 |
| 摘 要： | 不同氧氩比对于ZnO薄膜的结构及其荧光发光的影响。随着氧氩比的增加,ZnO薄膜（002）面的衍射峰明显增高,且变得更尖锐,薄膜的晶化得到改善。所有制备的样品均出现了波长位于446nm左右的蓝光峰。随氧分压逐渐增大,样品的PL谱中蓝光峰相对强度比增加。 |
| 关 键 词： | 氧氩比 XRD 光致发光 |
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