干涉法测量器件表面特征缺陷的计算机模拟 |
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引用本文: | 林秋宝. 干涉法测量器件表面特征缺陷的计算机模拟[J]. 集美大学学报(自然科学版), 2003, 8(1): 80-82 |
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作者姓名: | 林秋宝 |
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作者单位: | 集美大学基础教学部,福建,厦门,361021 |
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摘 要: | 光学干涉方法测量器件表面微小缺陷是一种有效的实验方法.对于多样性结果的唯一性分析,借助于计算机模拟,得到特征缺陷的干涉图样的模拟结果.该结果适用于不同波长,缺陷尺度连续变化的微小情况.使用误差跟踪计算办法,可分辨的缺陷尺度变化从1/2波长的10^-1量级倍数到10^2量级倍数.
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关 键 词: | 表面特征缺陷 缺陷测量 光学干涉方法 计算机模拟 干涉图样 缺陷尺度变化 |
文章编号: | 1007-7405(2003)01-0080-03 |
修稿时间: | 2002-12-18 |
The Computer Simulation of Testing Surface Defect by Optical Interference Method |
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Abstract: | |
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Keywords: | interference defect computer simulation |
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