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| 非晶态CoFeBMo薄膜的制备和性能 | |
| 引用本文： | 刘宜华,梅良模,栾开政,张爱蓉,郭贻诚.非晶态CoFeBMo薄膜的制备和性能[J].山东大学学报(理学版),1985(4). |
| 作者姓名： | 刘宜华 梅良模 栾开政 张爱蓉 郭贻诚 |
| 作者单位： | 山东大学物理系 (刘宜华，梅良模，栾开政，张爱蓉)，山东大学物理系(郭贻诚) |
| 摘 要： | 本文介绍了用射频溅射法制备非晶态CoFeBMo软磁薄膜的工艺过程,较系统地研究了高频输入功率、氩气压、负偏压以及集辉磁场对膜矫顽力、磁感应强度、起始磁导率和电阻率的影响,从而找出最佳工艺条件,制备出较好的非晶态软磁薄膜。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |