溶胶-凝胶法制备掺铋(Ba_(0.65)Sr_(0.35))TiO_3薄膜的结晶特性研究 |
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引用本文: | 梁金娥,方瑜,肖定全,朱建国.溶胶-凝胶法制备掺铋(Ba_(0.65)Sr_(0.35))TiO_3薄膜的结晶特性研究[J].四川大学学报(自然科学版),2005(Z1). |
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作者姓名: | 梁金娥 方瑜 肖定全 朱建国 |
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作者单位: | 四川大学材料科学与工程学院 四川大学材料科学与工程学院 成都 |
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摘 要: | 采用改进的溶胶-凝胶(sol-gel)工艺制备了掺Bi(Ba0.65Sr0.35)Ti O3(简称BSTBi)薄膜.XRD研究结果表明,BST系列薄膜具有单一钙钛矿结构;AFM测试结果表明BST薄膜表面平整致密,无裂纹.表面均方根粗糙度约为3~6.5nm,晶粒大小分布均匀,直径约为50~75nm.随着热处理温度的提高,BST薄膜的晶粒变大,表面粗糙度变大.
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关 键 词: | BST薄膜 溶胶-凝胶法 结晶性能 |
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