| 欧姆接触电阻率测量方法的比较研究 |
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| 引用本文： | 赵安邦,谭开洲,吴国增.欧姆接触电阻率测量方法的比较研究[J].重庆邮电大学学报(自然科学版),2006(Z1):238-241. |
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| 作者姓名： | 赵安邦 谭开洲 吴国增 |
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| 作者单位： | 1. 重庆邮电大学,光电工程学院;中国电子科技集团公司,第二十四研究所,模拟集成电路国家重点实验室,重庆,400060
2. 中国电子科技集团公司,第二十四研究所,模拟集成电路国家重点实验室,重庆,400060 |
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| 摘 要： | 根据材料的厚度对金属-半导体间的欧姆接触电阻率的测量方法做了分类,并分别介绍了各种方法的原理.分析了它们的误差形成原因以及对结果的影响,比较了它们的优劣,探讨了在不同情况下最合适的办法.
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| 关 键 词： | 金属-半导体 欧姆接触 接触电阻率 传输线模型法 |
| 文章编号： | 1004-5694(2006)增-0238-04 |
| 修稿时间： | 2006年4月25日 |
Comparison and investigation of measurement of specific contact resistance in ohmic contact |
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| ZHAO An-bang,TAN Kai-zhou,WU Guo-zeng.Comparison and investigation of measurement of specific contact resistance in ohmic contact[J].Journal of Chongqing University of Posts and Telecommunications,2006(Z1):238-241. |
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| Authors: | ZHAO An-bang TAN Kai-zhou WU Guo-zeng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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