| 半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究 |
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| 引用本文： | 李林瑛,胡静涛.半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究[J].系统仿真学报,2010,22(8). |
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| 作者姓名： | 李林瑛 胡静涛 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院沈阳自动化研究所,工业信息学重点实验室,沈阳,110016;大连外国语学院,软件学院,大连,116044;中国科学院研究生院,北京,100039
2. 中国科学院沈阳自动化研究所,工业信息学重点实验室,沈阳,110016 |
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| 摘 要： | 针对单臂机器人的两集束型装备调度问题,利用分解方法将两集束型装备分解为两个单集束型装备.证明了分解后单集束型装备的缓冲模块加工时间必定在一个允许的时间范围内,并建立单集束型装备调度问题的线性规划(Linear Programming,LP)模型,提出了基于LP模型和机器人元碰撞约束条件的搜索算法.以半导体制造化学机械抛光设备为例,验证了模型和算法的有效性.
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| 关 键 词： | 半导体制造 两集束型装备 调度 线性规划模型 |
Scheduling Model and Its Algorithm for Two-cluster Tools with Single-blade Robot |
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| LI Lin-ying,HU Jing-tao.Scheduling Model and Its Algorithm for Two-cluster Tools with Single-blade Robot[J].Journal of System Simulation,2010,22(8). |
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| Authors: | LI Lin-ying HU Jing-tao |
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