| 深度同步辐射光刻研究 |
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| 引用本文： | 田扬赵.深度同步辐射光刻研究[J].科学通报,1995,40(1):83-83. |
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| 作者姓名： | 田扬赵 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学国家同步辐射实验室 合肥230026
(田扬赵，洪义麟，付绍军，阚娅，陶晓明)，中国科学技术大学国家同步辐射实验室 合肥230026(胡一贯) |
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| 基金项目： | 国家自然科学(青年)基金资助项目 |
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| 摘 要： | 80年代中期由Ehrfeld教授及其同事创造的LIGA(in German:Lithographfie Galvano-formung,Abformtecnnik)技术被认为最有前途的超微细加工方法.LIGA技术即是深度同步辐射X射线光刻、电铸成型、塑料铸模等技术相结合的综合性技术.最基本和最核心的工艺是深度同步辐射光刻,只有深度同步辐射光刻刻蚀出比较理想的光刻胶图形,才能保证制作出高质量的其它材料(如金属)结构图形.LIGA技术在Wisconsin大学得到进一步发展,使之能够实现各零件的组合和装配.
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| 关 键 词： | 同步辐射 光刻 LIGA 超微细加工 |
| 收稿时间： | 1994-04-11 |
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