| 对移相误差不敏感的四帧相位算法 |
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| 引用本文： | 惠梅,王东生,邓年茂,李庆祥,徐毓娴.对移相误差不敏感的四帧相位算法[J].清华大学学报(自然科学版),2003,43(8):1017-1019. |
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| 作者姓名： | 惠梅 王东生 邓年茂 李庆祥 徐毓娴 |
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| 作者单位： | 1. 清华大学,精密仪器与机械学系,精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084
2. 中国科学院西安光学精密机械研究所,西安,710068 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(59975052) |
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| 摘 要： | 应用相移干涉术测量物体表面微观形貌时,相移器的移相误差直接影响测量精度。在四帧干涉图情形下,推导出了对移相误差不敏感的相位解算方法。算法将相移误差因子作为中间可代换变量,它的大小随机变化不影响相位计算结果,即相位计算式与相移误差因子无关。对标准正弦样板进行的实验验证表明,该算法有效地抑制了移相误差对形貌测量的影响,进一步提高了表面微观形貌的测量精度和测量可靠性、提高了测量系统的整体性能指标。
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| 关 键 词： | 相移干涉术 相位提取算法 相移器 误差因子 |
| 文章编号： | 1000-0054(2003)08-1017-03 |
| 修稿时间： | 2002年10月16 |
Four-frame phase-stepping interferometry-base insensitive algorithm to phase-stepping error |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | phase-stepping interferometry phase-stepping algorithm phase shifter error gene |
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