| 快速与精确的AFM探针模型重构研究 |
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| 引用本文： | 袁帅,董再励,缪磊,席宁,王越超.快速与精确的AFM探针模型重构研究[J].科学通报,2010(Z1). |
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| 作者姓名： | 袁帅 董再励 缪磊 席宁 王越超 |
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| 作者单位： | 中国科学院沈阳自动化研究所;机器人学国家重点实验室;中国科学院研究生院;Department;Electrical;Computer;Engineering;Michigan;State;University; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点项目(批准号:60635040);;国家高技术研究发展计划(编号:2009AA04Z313,2009AA03Z316);;中国科学院、国家外国专家局创新团队国际合作伙伴计划资助项目 |
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| 摘 要： | 在AFM扫描成像中,由于探针具有展宽效应等因素,导致扫描图像失真.从数学形态学角度看,可以认为真实图像失真是受到了探针针尖形貌卷积的作用,因而不能反映样品表面的真实形貌.采用反卷积运算处理可以排除这类扫描成像干扰,但需要准确知道探针针尖形貌,这对于AFM纳米扫描图像的精确重构具有实际意义.在已有的探针建模算法中,基于数学形态学的盲建模算法得到了广泛使用,然而该算法存在运算时间较长,最优降噪门限阈值很难确定等问题.针对这些问题,提出一种新的盲建模方法,可以提高盲建模运算速度,并且实现AFM扫描图像的精确重构.仿真和实验结果证明了上述研究方法的可行性和有效性.
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| 关 键 词： | 原子力显微镜 探针盲建模算法 多孔铝 数学形态学 |
Research on the reconstruction of fast and accurate AFM probe model |
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| Yuan S,Dong Z L,Miao L,et al..Research on the reconstruction of fast and accurate AFM probe model[J].Chinese Science Bulletin,2010(Z1). |
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| Authors: | Yuan S Dong Z L Miao L |
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| Institution: | Yuan S,Dong Z L,Miao L,et al. |
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