| 氢原子与H-Si(100)表面作用提取的氢分子角分布研究 |
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| 引用本文： | 阳生红. 氢原子与H-Si(100)表面作用提取的氢分子角分布研究[J]. 中山大学学报(自然科学版), 2007, 46(6): 30-33 |
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| 作者姓名： | 阳生红 |
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| 作者单位： | 中山大学光电材料与技术国家重点实验室//物理科学与工程技术学院，Laboratoire de Physique des Interfaces et des Couches Minces CNRS，Ecole Polytechnique，91128 Palaiseau Cedex，France，广东广州510275 |
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| 基金项目： | 教育部留学回国人员科研启动基金 |
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| 摘 要： | 利用可旋转四极质谱仪对氢原子束与氢化Si(100)表面作用中氢提取反应产生的氢分子角分布进行了系统的分析。发现氢原子束与氢化Si(100)表面作用中,从氢化Si(100)表面脱附的氢分子具有较宽的角分布,并可以用函数cosnθf(其中n<1)拟合氢分子角分布。脱附的氢分子角分布与Si(100)表面温度和表面重构模型无关。根据硅表面重构机制,用非活性脱氢模型对实验结果进行了合理的解释。
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| 关 键 词： | 四极质谱仪 氢化Si(100)表面 脱附 氢分子角分布 |
| 文章编号： | 0529-6579（2007）06-0030-04 |
| 收稿时间： | 2007-03-26 |
| 修稿时间： | 2007-03-26 |
Angle Distribution Study of H2 Molecules Produced in The Abstaction Reaction of Incident H Atoms on H-Si(100) |
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| CHTELET Marc,YANG Sheng-hong,CHTELET Marc. Angle Distribution Study of H2 Molecules Produced in The Abstaction Reaction of Incident H Atoms on H-Si(100)[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 2007, 46(6): 30-33 |
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| Authors: | CHTELET Marc YANG Sheng-hong CHTELET Marc |
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| Affiliation: | CH(A)TELET Marc,YANG Sheng-hong,CH(A)TELET Marc |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | quadrupole mass spectrometer hydrogenated Si(100) surface desorbing angle distributions of H2 molecules |
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