| 微测辐射热计阵列结构的制备 |
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| 引用本文： | 王利霞.微测辐射热计阵列结构的制备[J].南京邮电大学学报(自然科学版),2009,29(5):54-58. |
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| 作者姓名： | 王利霞 |
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| 作者单位： | 南京邮电大学理学院,江苏,南京,210046 |
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| 基金项目： | 南京邮电大学校科研基金 |
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| 摘 要： | 为了研究和优化二氧化钒(VO2)微测辐射热计的制备工艺,采用微电子机械系统(MEMS)体硅工艺制备了VO2微测辐射热计,经过研究和改进制备工艺,制得的微测辐射热计结构稳定,成品率高;经测试及计算,其响应率可达34.3 kV/W,探测率为1.2×10~8 cm·Hz~(1/2)/W,响应时间约为65.3 ms.此器件性能达到国内外同类器件水平.
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| 关 键 词： | 二氧化钒 微测辐射热计 |
Preparation of V02 Microbolometer Array |
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| WANG Li-xia.Preparation of V02 Microbolometer Array[J].Journal of Nanjing University of Posts and Telecommunications,2009,29(5):54-58. |
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| Authors: | WANG Li-xia |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS |
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