| 衬底温度对氮化锌薄膜特性的影响 |
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| 引用本文： | 邵士运,陈俊芳,赵益冉,冯军勤,高鹏.衬底温度对氮化锌薄膜特性的影响[J].华南师范大学学报(自然科学版),2012,44(4):66-69. |
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| 作者姓名： | 邵士运 陈俊芳 赵益冉 冯军勤 高鹏 |
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| 作者单位： | 1. 华南师范大学物理与电信工程学院量子信息技术重点实验室,广东广州,510006
2. 华南师范大学实验中心,广东广州,510006 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目，广东省自然科学基金项目 |
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| 摘 要： | 采用直流磁控溅射的方法,在不同温度的玻璃衬底上生长Zn3N2薄膜.研究了衬底温度对样品的微结构、表面形貌以及光学性质的影响.结果表明,随着衬底温度的升高,生长的Zn3N2薄膜择优取向增多;晶粒尺寸逐渐变大;Zn3N2薄膜间接光学带隙由1.86 eV逐渐增大到2.26 eV.
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| 关 键 词： | 氮化锌薄膜 直流磁控溅射 表面形貌 光学带隙 |
Effect of Substrate Temperature on the Properties of Zinc Nitride Thin Film |
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| SHAO Shiyun
,
CHEN Junfang
,
ZHAO Yiran
,
FENG Junqin
,
GAO Peng.Effect of Substrate Temperature on the Properties of Zinc Nitride Thin Film[J].Journal of South China Normal University(Natural Science Edition),2012,44(4):66-69. |
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| Authors: | SHAO Shiyun CHEN Junfang ZHAO Yiran FENG Junqin GAO Peng |
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| Institution: | 1(1.Key Laboratory of Quantum Information Technology,School of Physics and Telecommunication Engineering, South China Normal University,Guangzhou 510006,China; 2.Research Resources Center,South China Normal University,Guangzhou 510006,China) |
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| Abstract: | |
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