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| 256×1甚长波多量子阱红外焦平面线列研制 | |
| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室 上海200083(郭方敏，李宁，熊大元，甄红楼，徐向晏，候颖，丁瑞军，陆卫)，中国科学院物理研究所 北京100190(黄绮，周均铭) |
| 摘 要： | 通过材料设计与制备,甚长波GaAs/AlGaAs多量子阱红外探测器的峰值响应波长14.6μm,响应带宽大于2.2μm.256×1焦平面线列采用垂直入射二维光栅耦合工作模式,45K温度下,单元响应率4.28×10-2A/W、单元黑体探测率Db*=5.14×109cm·Hz1/2/W、单元黑体单色探测率Dλ*=4.24×1010cm·Hz1/2/W.通过铟柱与互补式金属-氧化物-半导体读出电路互连得到的甚长波量子阱红外探测器FPA(focal plane array)在积分时间100μs时,有效像元率Nef=99.22%、平均响应率R=3.485×106V/W、响应率的不均匀性UR=5.83%、平均黑体探测率典型值Db*=2.181×108cm·Hz1/2/W、平均单色探测率Dλ*=8.288×109cm·Hz1/2/W.器件已适合进行室温目标的热像图. |
| 关 键 词： | 量子阱 焦平面 超长波 红外探测器 衍射光栅 |
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