| 金刚石薄膜热沉制备的研究 |
| |
| 引用本文： | 于三,赵方海,金曾孙,吕宪义,庄荣书,邹广田. 金刚石薄膜热沉制备的研究[J]. 吉林大学学报(理学版), 1990, 0(3) |
| |
| 作者姓名： | 于三 赵方海 金曾孙 吕宪义 庄荣书 邹广田 |
| |
| 作者单位： | 吉林大学原子与分子物理研究所(于三，金曾孙，吕宪义，庄荣书)，吉林大学电子科学系(赵方海)，吉林大学原子与分子物理研究所(邹广田) |
| |
| 摘 要： | 1967年Dyment等人利用Ⅱα型天然金刚石制备出了用于GaAs半导体激光二极管散热用的金刚石热沉,并用该热沉首次实现了这一激光二极管的室温连续工作。但是由于受到制备成本的限制,利用天然及高压合成金刚石制备的热沉一直没有得到推广应用。 本文用灯丝热解CVD方法,合成了厚度为100μm的金刚石多晶薄膜,通过真空蒸发
|
| 关 键 词： | 金刚石薄膜 金属化 热沉 半导体列阵激光器 |
The Fabrication of Heat Sinks Made of Vapor Growth Diamond Film |
| |
| Yu San,Zhao Fanghai,Jin Zengsun,Lu Xianyi,Zhuang Rongshu and Zou Guangtian. The Fabrication of Heat Sinks Made of Vapor Growth Diamond Film[J]. Journal of Jilin University: Sci Ed, 1990, 0(3) |
| |
| Authors: | Yu San Zhao Fanghai Jin Zengsun Lu Xianyi Zhuang Rongshu Zou Guangtian |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | diamond films thermal chemical vapor deposition (CVD) method heat sinks semiconductor laser diode array |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
|
