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| 飞秒激光改性区选择性化学腐蚀加工光纤微纳结构传感器 | |
| 引用本文： | 褚东凯,孙小燕,董欣然,胡友旺,周剑英,王聪,段吉安.飞秒激光改性区选择性化学腐蚀加工光纤微纳结构传感器[J].科学通报,2016(6):576-586. |
| 作者姓名： | 褚东凯 孙小燕 董欣然 胡友旺 周剑英 王聪 段吉安 |
| 作者单位： | 中南大学高性能复杂制造国家重点实验室 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(91123035,91323301,51475482,51335011,51475481);国家重点基础研究发展计划(2011CB013000);教育部“新世纪优秀人才支持计划”(NCET-12-0548)资助 |
| 摘 要： | 光纤微纳结构传感器具有体积小、质量轻、抗电磁干扰和灵敏度高等优点,已成为各领域不可或缺的传感器件.本文简要介绍了飞秒激光改性区选择性化学腐蚀加工光纤微纳结构的方法,并根据传感器工作原理,将所得传感器件分为干涉型、衍射型和复合型3种.重点阐述了各类型器件的结构和性能,并对运用该方法制作的光纤微纳结构进行总结和展望. |
| 关 键 词： | 飞秒激光 化学腐蚀 光纤微纳结构 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |