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用PCVD法制备抗高温氧化涂层的研究
引用本文:彭红瑞,石玉龙.用PCVD法制备抗高温氧化涂层的研究[J].青岛化工学院学报(自然科学版),1999,20(3):245-247.
作者姓名:彭红瑞  石玉龙
摘    要:研究了用PCVD法所制备的TiN,TiA1N及TiSiN硬质支的抗高温氧化性及TiN涂层在双氧水介质中的抗氧化性能。结果表明,TiA1N,TiSiN涂怪在空气中的抗高温氧化性可在700℃以上,TiN涂层可达600℃。在双氧水介质中,PVCD-TiN涂层仍具有较强的抗氧化能力,且优于PVD-iN涂层。

关 键 词:氮化钛  涂层  高温  PVCD  沉积  金属  合金钢
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