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| 用双入射角的反射型椭偏术自动测定单层膜厚度 | |
| 引用本文： | 王润.用双入射角的反射型椭偏术自动测定单层膜厚度[J].上海理工大学学报,1987(4). |
| 作者姓名： | 王润 |
| 作者单位： | 上海机械学院精密仪器研究所 |
| 摘 要： | 本文提出了应用双入射角的反射型椭偏术,可克服椭偏仪一般只能测定膜层厚度小于1周期值的缺点。该技术已成功地应用于微机控制自动消光法椭偏仪上,能自动测定厚膜的膜厚和折射率。经大规模集成电路生产中使用,效果良好,且能提高测量精度和简化操作。 |
| 关 键 词： | 薄膜 厚膜 厚度 测量 大规模集成电路 |
A Method of Automatic Determination of the Thickness of a Single Film |
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| Wang Run.A Method of Automatic Determination of the Thickness of a Single Film[J].Journal of University of Shanghai For Science and Technology,1987(4). | |
| Authors: | Wang Run |
| Abstract: | |
| Keywords: | Thinfilms Thick films Thickness Measurement Large scale integrated circuits (LSI) |
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