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人造金刚石低压气相生长的热力学研究
引用本文:张卫,万永中.人造金刚石低压气相生长的热力学研究[J].自然科学进展,1997,7(2):170-174.
作者姓名:张卫  万永中
摘    要:用非平衡热力学耦合模型研究金刚石在CH4/H2和C2H2/O2气相体系中的生长,计算了不同压力下这两种体系生长金刚石的相图,与用经典的平稳热力学理论计算的相图不同,得到的相图都有金刚石生长区。

关 键 词:化学气相淀积  低压  气相生长  人造金刚石  热力学
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