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低压气相生长人造金刚石的热力学耦合理论模型
作者姓名：王季陶 黄忠强
作者单位：[1]复旦大学电子工程系 [2]同济大学应用数学系
摘    要：
关 键 词：热力学耦合 相图 金刚石 气相生长 低压 CVD
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