| 锆钛酸铅铁电薄膜的MOD工艺制备及其性能研究 |
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| 引用本文： | 熊四辈 吴小清. 锆钛酸铅铁电薄膜的MOD工艺制备及其性能研究[J]. 西安交通大学学报, 1996, 30(4): 60-65 |
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| 作者姓名： | 熊四辈 吴小清 |
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| 摘 要： | 致密、纯钙钛矿结构的ＰＺＴ（５０／５０）铁电薄膜已用ＭＯＤ工艺（金属有机物热分解工艺）获得．通过优化原料的提纯和合成工艺，消除了原料中微量杂质离子，控制ＰＺＴ先体溶液合成时的环境温度，制得透明、稳定的锆钛酸铅先体溶液．采用多次甩胶成膜法，经４００～５００℃热处理，在Ｐｔ／ＳｉＯ２／Ｓｉ衬底上制得ＰＺＴ（５０／５０）薄膜，膜厚５２０ｎｍ，其介电常数为２７０，损耗角正切为０．０３５（１ｋＨｚ，０．０５Ｖ测试电压），其绝缘电阻率为１０～１００ＴΩ·ｃｍ，剩余极化强度为２０．６μＣ／ｃｍ２，饱和极化强度为２７．７μＣ／ｃｍ２，矫顽场强为８０ｋＶ／ｃｍ
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| 关 键 词： | MOD工艺 锆钛酸铅 铁电薄膜 钙钛矿结构 |
PREPARATION AND PROPERTIES OF PZT THIN FILMS DERIVED BY MOD TECHNIQUE |
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| Xiong Sibei Wu Xiaoqing Zhang Lianying Yzo Xi. PREPARATION AND PROPERTIES OF PZT THIN FILMS DERIVED BY MOD TECHNIQUE[J]. Journal of Xi'an Jiaotong University, 1996, 30(4): 60-65 |
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| Authors: | Xiong Sibei Wu Xiaoqing Zhang Lianying Yzo Xi |
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| Affiliation: | School of Electronic and Information Engineering |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MOD technique lead zirconate titanate ferroelectric thin film perovskite |
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