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Si1—zGez基区杂质和Ge组份分布对HBT基区渡越时间的影响
作者姓名:张万荣 曾峥
作者单位:西安交通大学
摘    要:在Si1-zGez基区HBT中,Ge组份Z缓变产生自建电场,基区杂质浓度向发射极侧的减小产生了阻滞电场,基区杂质浓度向集电极侧的减小产生了加速电场。文中研究了这些电场对基区渡越的影响,研究结果表明,随基区发射极侧杂质浓度的不同,因阻滞电场而产生的延迟时间占基区总渡越时间的40% ̄80%。同时还发现,选用无阻滞电场产生的基区杂质分布,采用大的Ge组份线性缓变和利用集电结空间电荷区电子速度过冲效应,可

关 键 词:双极晶体管 HBT 基区渡越时间 基区杂质 锗
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