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| 反应溅射中靶材成份对Si—Cr—Ni—O薄膜形成的XPS分析 | |
| 引用本文： | 王家敏,吴建生.反应溅射中靶材成份对Si—Cr—Ni—O薄膜形成的XPS分析[J].上海交通大学学报,1995,29(3):124-128. |
| 作者姓名： | 王家敏 吴建生 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 反应溅射 靶材 薄膜 XPS |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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